壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的致密性。
按介質壓力真空閥門可分成四組：
1）低真空閥門：介質壓力p=760~1毫米汞柱；
2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。
3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；
4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球 形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因為旋塞閥需要用油潤滑，使油汽可能進入真空系統，而這是不允許的。真空閥門既可用現場 手控和遙控，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）、氣動和液動控制。
真空閥門關閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑（口徑在10毫米以下）的截止閥關閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。 |
